產品類型
UT-15B研磨拋光機 (桌上型)
產品描述
基本規格:
1. 下盤: ⏀ 380 mm (15吋)
2. 承載盤 (Block): ⏀ 138 mm
3. 承載盤數量: 3個
4. 加壓氣缸: 3個
5. 設備尺寸: W640 x D650 x H1100
適用範圍：
1. 2 吋矽晶圓拋光 (silicon wafer)
2. 4 吋矽晶圓拋光 (silicon wafer)
3. 氧化膜化學拋光 (CMP)
4. 2-4吋GaAs 砷化鎵拋光
5. 2吋藍寶石研磨拋光
6. 陶瓷基板研磨拋光
7. 2吋SIC碳化矽研磨拋光
8. 4吋SIC碳化矽研磨拋光
9. 各種複合材料研磨拋光