四軸單面研磨拋光設備, 適用SIC碳化矽, 藍寶石, GaAs砷化鎵, 再生晶圓, 陶瓷基板拋光. 銅, 氧化膜拋光, 晶圓拋光,晶圓拋光機

四軸仰角型拋光設備, 可在有效的時間內快速取放片. (無須拆卸承載盤)