Grinder 晶圓研磨設備

下定盤 Φ310 陶瓷吸盤

上磨輪前後擺動距離 ±50mm
可依加工物件調整前後擺動，達成加工件的平坦度，手動調整用螺栓鎖緊

上磨輪上下距離 100mm
可設定壓力調整緩衝力量，已達成加工件的切削量.

外型尺寸 W1500 X D1220 X H1800

機械重量 約 2500kg